GB/T 29056-2012
硅外延用三氯氫硅化學分析方法.硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷和銻量的測定 電感耦合等離子體質譜法
Trichlorosilane for silicon epitaxy.Determination of boron,aluminium,phosphorus,vanadium,chrome,manganese,iron,cobalt,nickel,copper,arsenic,molybdenum and antimony content.Inductively coupled plasma mass spectrometric method
GBT29056-2012, GB29056-2012
- 標準號
- GB/T 29056-2012
- 別名
- GBT29056-2012, GB29056-2012
- 發布
- 2012年
- 總頁數
- 10頁
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 29056-2012
- 適用范圍
- 本標準規定了用電感耦合等離子體質譜儀UCP一MS)測定硅外延用三氯氫硅(S舊Ch〉中硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷、銻等痕量元素含量的方法。 本標準適用于硅外延用三氯氫硅〔蜀HCh〉中硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷、銻等含量的測定。 各元素測定范圍見表1。 表]測定范圍〈質量分數…)/﹪0.000 000 001~0-000 002 0﹒000 000 00]N0^000 002 0.000 000 001~0.000 000 2 0﹒000 000 000 5~0,000 002 0.000 000 001N0′000 002 0.000 000 001~0-000 002 0﹒000 000 00]N0^000 002 0.000 000 000 5~O.000 000 2 0﹒000 000 001~0,000 002 0.000 000 001N0′000 002 0-000 000 000 5^〉0-000 000 2 0.000 000 001^》0-000 002 0.000 000 001N0′000 002 2 方法提要