氬/氬混合氣 是非強制性國家標準，您可以免費下載預覽頁
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具體來說，DUV光刻機利用光刻氣體來制造光源，這是一種稀有氣體與氟的混合氣。常見的光刻氣體有氬氟氖混合氣、氪氖混合氣、氬氖混合氣、氬氙氖混合氣等等。制造時，需要利用高壓激發這些稀有混合氣體，產生電子躍遷，從而產生波長穩定的光線，經過聚合濾波等過程形成光源。原子核外的電子在發生躍遷的時候，如果是躍遷至低能級，就會釋放出光子，將它在增益介質中反復放大能量后，發射出去就形成了一個波長穩定的激光。...
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