ASTM D5544-11
高純度水蒸發后殘留物在線測量的標準試驗方法
Standard Test Method for On-Line Measurement of Residue After Evaporation of High-Purity Water
- 標準號
- ASTM D5544-11
- 發布
- 2011年
- 總頁數
- 9頁
- 發布單位
- 美國材料與試驗協會
- 替代標準
- ASTM D5544-16
- 當前最新
- ASTM D5544-16(2023)
- 引用標準
- ASTM D1129 ASTM D2777 ASTM D3370 ASTM D3864 ASTM D3919 ASTM D5127 ASTM E1184
- 適用范圍
- 即使是所謂的高純水也會含有污染物。雖然并不總是存在，但這些污染物可能會產生以下一種或多種：溶解的活性離子物質，例如鈣、鎂、鈉、鉀、錳、銨、碳酸氫鹽、硫酸鹽、硝酸鹽、氯離子和氟離子、鐵離子和亞鐵離子，和硅酸鹽；溶解有機物質，如殺蟲劑、除草劑、增塑劑、苯乙烯單體、去離子樹脂材料；以及膠體懸浮液，例如二氧化硅。雖然該測試方法有助于用一臺儀器實時監測高純水中的這些污染物，但該測試方法無法識別殘留污染的各種來源或檢測溶解的氣體或懸浮顆粒。該測試方法使用稱重的人工污染物（氯化鉀）進行校準。氯化鉀的密度是高純水中發現的污染物的相當典型的密度；然而，該測試方法的響應顯然是基于對氯化鉀的響應。對高純水中發現的實際污染物的響應可能與測試方法的校準不同。在這方面，該測試方法與許多其他分析測試方法沒有什么不同。與其他監測方法一起，該測試方法可用于診斷超純水系統中 RAE 的來源。特別是，該測試方法可用于檢測泄漏，例如初級陰離子或混合床去離子器的流出物中膠態二氧化硅的滲漏。此外，該測試方法已用于測量新液體過濾器的沖洗時間，并適用于批量式采樣（該測試方法中未描述這種調整）。立即獲得高純水污染情況對于那些使用高純水制造零部件的行業具有重要意義；可以立即停止生產以糾正污染問題。新興的納米顆粒技術行業也將從這一信息中受益。
1.1 本測試方法涵蓋半導體及相關行業使用的高純水中溶解的有機物和無機物以及膠體物質的測定。這種材料稱為蒸發殘留物 (RAE)。測試方法的范圍為0.001μg/L(ppb)至60μg/L(ppb)。
1.2 本測試方法采用連續、實時監測技術來測量RAE的濃度。高純水的加壓樣品通過超凈配件和管道連續供應至測試方法的設備。因此，可以防止大氣污染物進入樣品。有關測試方法的一般信息以及有關 RAE 連續測量的文獻綜述已發表。
1.3 以 SI 單位表示的數值應被視為標準。括號中給出的值僅供參考。
1.4 本標準并不旨在解決與其使用相關的所有安全問題（如果有）。本標準的使用者有責任在使用前建立適當的安全和健康實踐并確定監管限制的適用性。有關具體危險說明，請參閱第 8 節。