GB/T 14604-2009
電子工業用氣體.氧
Gas for electronic industry.Oxygen
GBT14604-2009, GB14604-2009
- 標準號
- GB/T 14604-2009
- 別名
- GBT14604-2009
GB14604-2009 - 發布
- 2009年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 14604-2009
- 引用標準
- GB 14194-2006 GB 16912-2008 GB 190-2009 GB 5099-1994 GB 7144-1999 GB/T 14600 GB/T 3723-1999 GB/T 3863-2008 GB/T 8984-2008 JB/T 5905-2000 JB/T 6897-2000 JB/T 6898-1997 壓力容器安全技術監察規程 壓力管道安全管理與監察規定 氣瓶安全監察規程
- 被代替標準
- GB/T 14604-1993
- 本標準規定了電子工業用氧的技術要求，試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。 本標準適用于以深冷法、電解法提取的氣態或液態氧，以及經純化方法得到的氧。他們主要用于二氧化硅化學氣相淀積，用作氧化源和生產高純水的反應劑，用于等離子體蝕刻和剝離、光導纖維。