3、面掃描分析電子束在樣品表面作光柵掃描時,把X射線譜儀(波譜儀或能譜儀)固定在接收某一元素特征X射線信號的位置上,此時在熒光屏上便對得到該元素的面分布圖像。圖中亮區表示這種元素的含量較高。4、(定點)定量分析能譜儀在穩定的電子束照射下得到的X射線譜,在扣除背景計數率后,各元素的同類特征譜線的強度值與它們的濃度相對應。...
當晶體位于?角時,晶體與光源之間的距離l總是等于2Rsinθ,將代布拉格方程(2dsinθ=nθ)得4、波譜儀的特點波長分辨率是很高的;x射線利用率很低;波譜儀不適于束流低、x射線弱的情況下使用。二、能譜分散儀(能譜儀,EDS )能量色散譜儀簡稱能譜儀,是利用特征X射線能量不同來展譜而進行成分分析的儀器。?...
EPMA使用的X射線譜儀有波譜儀和能譜儀兩類。?電子探針結構示意圖?1、能譜儀?能譜儀全稱為能量分散譜儀(EDS)。目前最常用的是Si(Li)X射線能譜儀,其關鍵部件是Si(Li)檢測器,即鋰漂移硅固態檢測器,它實際上是一個以Li為施主雜質的n-i-p型二極管。?Si(Li)檢測器探頭結構示意圖以Si(Li)檢測器為探頭的能譜儀實際上是一整套復雜的電子學裝置。?...
X射線譜儀是電子探針的信號檢測系統,分為:能量分散譜儀(EDS),簡稱能譜儀,用來測定X射線特征能量。波長分散譜儀(WDS),簡稱波譜儀,用來測定特征X射線波長。EDS常用作掃描電鏡或透射電鏡的微區成分分析。利用發射出來的特征X射線能量不同而進行的元素分析,稱為能量色散法。X射線能譜儀的主要構成單元是Si(Li)半導體檢測器,即鋰飄移硅半導體檢測器和多道脈沖分析器。...
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