ASTM E766-98(2008)e1
掃描電子顯微鏡的放大系數的標準校正規范

Standard Practice for Calibrating the Magnification of a Scanning Electron Microscope

被代替

標準號

ASTM E766-98(2008)e1

發布

1998年

發布單位

美國材料與試驗協會

替代標準

ASTM E766-14

當前最新

ASTM E766-14(2019)

 

 

適用范圍

正確使用這種做法可以在 10 至 50 000 倍的放大倍數范圍內產生精度為 5% 或更高的校準放大倍數。使用可追溯至國際/國家標準（例如 NIST-SRM 484）的校準樣本，通過這種做法，可以在操作條件的校準范圍內獲得精確到 5% 以上的放大倍率。校準放大倍數或尺寸測量的精度將低于本實踐中使用的校準樣本的精度。為了達到接近校準樣本的精度，必須在用于對感興趣的樣本進行成像的相同操作條件（加速電壓、工作距離和放大倍數）下應用這種做法。使用這種做法的每個設施都有責任定義放大倍率和操作條件的標準范圍以及應用這種做法所需的精度。標準操作條件必須包括操作員可以控制的參數，包括：加速電壓、工作距離、放大倍數和成像模式。
1.1 本實踐涵蓋了掃描電子顯微鏡放大倍數校準所需的一般程序。真實放大倍率和指示放大倍率之間的關系是操作條件的復雜函數。因此，這種做法必須適用于要使用的每組標準操作條件。
1.2 以 SI 單位表示的值應被視為標準值。本標準不包含其他計量單位。
1.3 本標準并不旨在解決與其使用相關的所有安全問題（如果有）。本標準的使用者有責任在使用前建立適當的安全和健康實踐并確定監管限制的適用性。

ASTM E766-98(2008)e1相似標準

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