ASTM E1603-99(2006)
用罩式質譜探漏儀或殘余氣體分析儀作檢漏測量的標準試驗方法

Standard Test Methods for Leakage Measurement Using the Mass Spectrometer Leak Detector or Residual Gas Analyzer in the Hood Mode

被代替

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標準號

ASTM E1603-99(2006)

發布

1999年

發布單位

美國材料與試驗協會

替代標準

ASTM E1603/E1603M-11

當前最新

ASTM E1603/E1603M-11(2022)

 

 

適用范圍

測試方法 A8212；此測試方法是泄漏測試組件中最常用的方法。組件測試與標準泄漏相關，并測量實際泄漏率。驗收基于系統允許的最大泄漏。對于大多數生產需求，驗收是基于零件泄漏小于既定泄漏率的驗收，這將確保組件在預計使用壽命內的安全性能。必須小心確保大型系統使用位于測試體積上代表性位置的標準泄漏進行校準。由于體積往往較大（>1 m3）并且通常涉及低電導路徑，因此應檢查響應時間以及系統靈敏度。測試方法 B8212；該測試方法用于測試真空系統，作為新系統最終測試的一個步驟，或作為用于制造、環境測試或調節零件的設備的維護實踐。與測試方法 A 一樣，大容量可能需要響應時間和系統靈敏度檢查。測試方法C8212；僅當沒有方便的方法將LD連接到高真空泵出口時才使用該測試方法。如果使用氦 LD 并且高真空泵是離子泵或低溫泵，則泄漏測試最好在粗加工循環期間完成，因為這些泵會在高真空室中留下相對較高百分比的氦氣。這將限制可獲得的最大靈敏度。
1.1 這些測試方法涵蓋以 4.4 × 10 14 摩爾/秒（1 109 標準厘米 3/秒，0C）或更高速率測試氣體泄漏源的程序。這些測試方法可以在任何可以抽空且另一側可以施加氦氣或其他示蹤氣體的物體上進行。物體在結構上必須能夠抽空至 0.1 Pa（約 103 托）的壓力。
1.2 描述了三種測試方法；1.2.1 測試方法 A 對于能夠抽空但沒有固有泵送能力的被測物體。
1.2 .2 試驗方法 B 對于具有整體抽氣能力的被測物體。
1.2.3 試驗方法 C 對于試驗方法 B 中的被測物體，其中被測物體的真空泵取代了檢漏儀中通常使用的真空泵（LD ).1.3 以 SI 單位表示的數值應被視為標準值。括號中給出的值僅供參考。本標準并不旨在解決與其使用相關的所有安全問題（如果有）。本標準的使用者有責任在使用前建立適當的安全和健康實踐并確定監管限制的適用性。

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