微粒化學分析通常使用SEM/EDS進行,然而,SEM/EDS需要將樣品轉移到真空室將污染微粒分離出來,成本高昂、耗時長。二合一方法對微粒的目視檢查和化學分析更有效(見圖1)。根本原因分析流程二合一方法對比SEM/EDS圖1:二合一方法以及SEM/EDS的根本原因分析流程比較。二合一方法不需要額外進行樣品制備,也不需要使用多臺儀器,分析在空氣中進行,而不需要在真空中進行,目視檢查和化學分析更快。...
微粒化學分析通常使用SEM/EDS進行,然而,SEM/EDS需要將樣品轉移到真空室將污染微粒分離出來,成本高昂、耗時長。二合一方法對微粒的目視檢查和化學分析更有效(見圖1)。根本原因分析流程二合一方法對比SEM/EDS圖1:二合一方法以及SEM/EDS的根本原因分析流程比較。二合一方法不需要額外進行樣品制備,也不需要使用多臺儀器,分析在空氣中進行,而不需要在真空中進行,目視檢查和化學分析更快。...
6.真空型光電光譜儀的真空系統由于硫、磷、碳、氮等元素的靈敏線位于200nm以下波段范圍內,而這些波段的輻射將被空氣吸收,因此,必須將光電光譜儀的光學系統置于真空之中,才能進行這些元素的分析。為此測定硫、磷、碳等元素時,必須使用真空光電光譜儀。真空光電光譜儀除一般光電光譜儀的裝置外,還需增加真空系統和控制氣氛兩個裝置。...
6.真空型光電光譜儀的真空系統由于硫、磷、碳、氮等元素的靈敏線位于200nm以下波段范圍內,而這些波段的輻射將被空氣吸收,因此,必須將光電光譜儀的光學系統置于真空之中,才能進行這些元素的分析。為此測定硫、磷、碳等元素時,必須使用真空光電光譜儀。真空光電光譜儀除一般光電光譜儀的裝置外,還需增加真空系統和控制氣氛兩個裝置。...
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