ASTM E427-95(2006)由美國材料與試驗協會 US-ASTM 發布于 1995,于 2013-06-20 廢止。
ASTM E427-95(2006) 在中國標準分類中歸屬于: A42 物理學與力學,在國際標準分類中歸屬于: 31.080.01 半導體器分立件綜合。
* 在 ASTM E427-95(2006) 發布之后有更新,請注意新發布標準的變化。
鹵素泄漏測試可用于指示密閉容器中泄漏的存在、位置和程度。該測試方法通常用于生產檢驗。由于擔心這些氣體對臭氧層的影響,其與鹵化制冷劑氣體的使用已逐漸減少。
1.1 本實踐涵蓋以 2.2 10 14 mol/s (5 1010標準 cm3/s)。測試可以在任何可以產生鹵素示蹤氣體壓差的設備或組件上進行,并且可以在需要泄漏測試的區域的流出側使用鹵素檢漏儀進行探測。
1.2 有五種方法:描述:
1.2.1 方法 A - 直接探測,大氣中沒有明顯的鹵素污染。
1.2.2 方法 B - 直接探測,大氣中沒有明顯的鹵素污染。
1.2.3 方法 C - 護罩測試。
1.2.4 方法 D -氣幕罩試驗。
1.2.5 方法E 累積試驗。
1.3 以英寸-磅為單位的數值應視為標準。英寸-磅單位的公制當量可能是近似值。本標準并不旨在解決與其使用相關的所有安全問題(如果有)。本標準的使用者有責任在使用前建立適當的安全和健康實踐并確定監管限制的適用性。
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