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這一工作原理的難點是氣體粒子的相互碰撞，這會抵消泵送過程，因此必須預先使腔體壓力降至約 10 -1 hPa 。第一臺分子泵是什么樣的？渦輪分子泵主要由一個外殼與轉子和定子組成。旋轉圓盤和固定圓盤交叉排列，一個轉子盤和一個定子盤組成一個泵級。轉子轉動得越快，抽吸效果就越顯著。現代泵的轉速已高達 90 000 min-1，圓周速度為 400 m/s。...
葉輪外緣的線速度與氣體分子的熱運動速度一樣高（通常為150~400 m/s）。單個葉輪的壓縮比很小，渦輪分子泵由十多個動葉輪和靜葉輪組成。動葉輪和靜葉輪交替布置。動靜葉輪的幾何尺寸基本相同，但葉片的傾角相反。圖 2 顯示了一個由 20 個移動葉輪組成的整體轉子。每兩個動葉輪之間安裝一個靜葉輪。靜葉輪外緣用圓環固定，動葉輪與靜葉輪之間保持1mm左右的間隙，動葉輪可以在靜葉輪之間自由轉動。?...
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