ASTM F1394-92(2005)
測定從氣體分配系統閥門產生的粒子成分的標準試驗方法

Standard Test Method for Determination of Particle Contribution from Gas Distribution System Valves

被代替

標準號

ASTM F1394-92(2005)

發布

1992年

發布單位

美國材料與試驗協會

替代標準

ASTM F1394-92(2012)

當前最新

ASTM F1394-92(2020)

 

 

適用范圍

該測試方法的目的是定義測試安裝到高純度氣體分配系統中的組件的程序。應用該測試方法預計將在測試的組件之間產生可比較的數據，以鑒定該安裝。背景測試8212；此測試方法使用背景測試來確保系統不會產生高于可接受的低水平的顆粒。這可確保看到的計數來自測試設備，而不是來自受污染的系統。用于獲得背景計數的技術不會產生與測試設備就位時存在的條件相同的條件。建議定期運行對照產品，以確保它們給出一致的結果。這些控制產品應該是最低顆粒釋放的產品。它們將進一步證明系統在測試的靜態、動態或沖擊部分不會產生多余的顆粒。該測試方法可用于測試管材的長度。流量標準與閥門所示的流量標準相同。管道測試僅包括靜態背景、沖擊背景以及方法的靜態和沖擊部分。可以通過啟動上游氣動閥 (PV1) 來添加動態部分，從而在管道的測試長度上產生流量波動。
1.1 該測試方法涵蓋用于安裝到高純度氣體分配系統中的氣體分配系統組件。
1.1.2 本測試方法描述了一個程序，旨在對在惡劣條件下測試的閥門的顆粒產生性能進行統計上的顯著比較。
1.1.3 本測試方法并非旨在作為特定閥門測試后監測持續顆粒性能的方法。
1.2 本測試方法采用凝核計數器 (CNC)，該計數器適用于半導體應用中通常使用的直列燃氣閥。它適用于各種類型（例如隔膜或波紋管）、尺寸為 6.3 至 12.7 毫米（1/4 至 1/2 英寸）的自動和手動閥門。有關此測試方法在較大閥門上的應用，請參閱附錄中的表格。
1.2.1 大于 12.7 毫米（1/2 英寸）的閥門可以通過此方法進行測試。測試臺的尺寸必須相應確定。應測試大于 12.7 毫米（1/2 英寸）的組件，同時保持雷諾數為 20000 至 21000。這是在 30.5 m 的速度下測試的 12.7 毫米（1/2 英寸）組件的雷諾數/秒（100 英尺/秒）。
1.3 局限性：
1.3.1 本測試方法適用于總粒子數大于凝聚核粒子計數器最低檢出限（MDL）的情況，不考慮將數據劃分為各種尺寸范圍。
1.3.1.1 能否從非動態部件（例如配件和短管）生成重要數據，并與短管生成的數據進行比較（具有統計顯著性），這是值得懷疑的。因此，該測試方法無法可靠地支持這些類型的組件之間的比較。
1.3.1.2 如果對激光粒子計數器（LPC）技術尺寸范圍內的粒子檢測或分類或兩者感興趣，則可以利用 LPC 來測試組件。本測試方法中概述的流速、測試時間、采樣裝置和數據分析不適用于 LPC。由于這些差異，CNC 的數據與 LPC 的數據不可比較。
1.3.2 本測試方法規定了超出典型值的流動和機械應力條件。這些條件不應超過制造商推薦的條件。正常操作條件下的實際性能可能會有所不同。 ......

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