ASTM F1398-93(2005)
按氣體分配系統成分測定總烴的測試方法

Standard Test Method for Determination of Total Hydrocarbon Contribution by Gas Distribution System Components

被代替

標準號

ASTM F1398-93(2005)

發布

1993年

總頁數

10頁

發布單位

美國材料與試驗協會

替代標準

ASTM F1398-93(2012)

當前最新

ASTM F1398-93(2020)

 

 

適用范圍

該測試方法的目的是定義測試考慮安裝到高純度氣體分配系統中的組件的程序。應用此測試方法預計會在用于鑒定此安裝的組件之間產生可比較的數據。
1.1 此測試方法涵蓋在環境溫度下測試組件對氣體分配系統的總碳氫化合物 (THC) 貢獻。此外，該測試方法允許在高達 70176C 的環境溫度下測試組件。
1.2 本測試方法適用于含有氣態電子級材料的在線組件，例如半導體氣體分配系統中使用的組件。
1.3 局限性：
1.3.1 該測試方法受到當前儀器靈敏度以及儀器響應時間的限制。該測試方法不適用于標稱外徑大于 12.7 毫米（1/2 英寸）的部件。該測試方法可適用于較大的部件；然而，規定的體積流量可能無法提供充分的混合以確保樣品具有代表性。較高的流速可以改善混合，但會過度稀釋樣品。
1.3.2 不同的儀器方法（例如氫火焰離子化檢測器（FID）、質譜儀（MS））由于對不同分子種類的靈敏度不同，所得出的總碳氫化合物（THC）水平無法進行比較。高純度氣體分配系統的碳氫化合物污染物可分為兩大類：(1) 不可凝結碳氫化合物 (lt;C4)，由于去除困難和相對大氣豐度而存在；(2) 可凝結碳氫化合物，即通常作為殘留物留在部件表面。可凝結碳氫化合物包括泵油、脫脂劑和拋光劑。
1.3.3 由于碳氫化合物種類差異巨大，建議僅在使用相同檢測方法收集的數據之間進行直接比較。
1.3.4 本測試方法適合具有相當于六個月經驗水平的設備使用理解的操作員使用。
1.4 以 SI 單位表示的數值應被視為標準。括號中給出的英寸-磅單位僅供參考。
1.5 本標準并不旨在解決與其使用相關的所有安全問題（如果有）。本標準的使用者有責任在使用前建立適當的安全和健康實踐并確定監管限制的適用性。具體危險說明見第 6 節。

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