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(3)模塑法用光刻和刻蝕的方法先制出陽模(所需通道部分突起);澆注液態的高分子材料,然后將固化后的高分子材料與陽模剝離,得到具有微通道芯片的這種制備微芯片的方法稱為模塑法。模塑法的關鍵在于模具和高分子材料的選擇,理想的材料應相互之間粘附力小,易于脫模。微通道的陽膜可由硅材料、玻璃、環氧基SU-8負光膠和PDMS等制造。硅或玻璃陽膜可采用標準刻蝕技術。...
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