鋁和硅接觸點的共熔合金化反應解決這個問題有兩種辦法:其一,在硅和鋁之間增加一個金屬阻擋層來隔離鋁和硅,以此來避免共熔現象的發生:其二,采用含硅1%-2%的鋁合金,在接觸加熱的處理中,鋁合金更傾向于和合金內部的硅發生作用,而不是晶圓中的硅。當然了,這個方法并不是百分之百有效,晶圓和鋁之間的合金化反應還是經常會發生的。3) 鋁銅合金鋁還會遭遇所謂電遷徙(electromigration)的問題。...
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