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ANSI/IEST/ISO 14644-6:2008
無菌室及相關受控環境.第6部分:詞匯

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 6: Vocabulary

標準號: ANSI/IEST/ISO 14644-6:2008
發布: 2008年
發布單位: 美國國家標準學會
當前最新: ANSI/IEST/ISO 14644-6:2008

適用范圍: ISO 14644 的這一部分建立了與潔凈室和相關受控環境相關的術語和定義詞匯表。 ISO 14644的本部分是ISO 14644其他部分中給出的術語和定義的概要。它還包括ISO 14698-1和ISO 14698-2中給出的術語和定義。

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