波長分散譜儀(WDS) WDS全稱波長分散譜儀,簡稱波譜儀,常用作電子探針儀中的微區成分分析,其分辨率比能譜儀高一個數量級,但它只能逐個測定每一元素的特征波長,一次全分析往往需要幾個小時。在電子探針中,X射線是由樣品表面以下m數量級的作用體積中激發出來的,如果這個體積中的樣品是由多種元素組成,則可激發各個相應元素的特征X射線。...
1.原理X射線熒光的波長λ與元素的原子序數Z有關,隨著元素的原子序數的增加,特征X射線有規律地向短波長方向移動。各種不同的元素都有本身的特征X射線熒光波長,只要測出熒光X射線的波長,就可知道元素的種類,這是熒光X射線定性分析的基礎,熒光X射線的強度與相應元素的含量有一定的關系,這就是用X射線熒光光譜儀進行定量分析的依據。...
對于試樣產生的特征X-射線,有兩種展成譜的方法:X-射線能量色散譜方法(EDS:Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)和X-射線波長色散譜方法(WDS:Wavelength Dispersive X-ray Spectroscopy)。在分析電子顯微鏡中均采用探測效率高的EDS。 由于電子顯微鏡具有很高的空間分辨率,使能譜分析可以在微米甚至納尺度下進行。...
而要對樣品進行微區的元素的成分分析,則需借助于被激發的特征X射線。這就是通常所謂的“電子探針分析”,又通常把測定特征X射線波長的方法叫波長色散法(WDS);測定特征X射線能量的方法叫能量色散法(EDS)。掃描電子顯微鏡除了可運用于寶玉石的表面形貌外,它經常帶能譜(EDS)做成分分析。EDS主要是由高效率的鋰漂移硅半導體探測器、放大器、多道脈沖高度分析器和記錄系統組成。...
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