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BS EN 62047-1:2006
半導體裝置.微型電機裝置.術語和定義

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Terms and definitions

被代替

2016-04

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標準號: BS EN 62047-1:2006
發布: 2006年
發布單位: 英國標準學會
替代標準: BS EN 62047-1:2016
當前最新: BS EN 62047-1:2016

被代替標準: 03/107914 DC-2003

適用范圍: IEC 62047 的這一部分定義了微機電設備的術語，包括此類設備的生產過程。

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