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DIN 32563:2002
微型系統生產設備.微型系統元器件分類制度

Production equipment for microsystems - System for classification of components for microsystems

被代替

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標準號: DIN 32563:2002
發布: 2002年
發布單位: 德國標準化學會
替代標準: DIN 32563:2002-03
當前最新: DIN 32563:2002-03

被代替標準: DIN 32563:2000

適用范圍: 該文件對微系統組件的處理特性進行了系統的描述、分類和編碼。#,,#

專題

微型微型制備系統

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