BS EN ISO 14644-1:1999
潔凈室和相關的控制環境.空氣清潔度的分級

Cleanrooms and associated controlled environments - Classification of air cleanliness

被代替

標準號

BS EN ISO 14644-1:1999

發布

1999年

發布單位

英國標準學會

替代標準

BS EN ISO 14644-1:2015

當前最新

BS EN ISO 14644-1:2015

 

 

被代替標準

96/126782 DC:1997 BS 5295 Part 1:1989

適用范圍

ISO 14644 的這一部分涵蓋了潔凈室和相關受控環境中空氣潔凈度的分類，僅根據空氣中顆粒的濃度進行分類。 僅考慮具有基于 0.1 μm 至 5 μm 范圍內的閾值（下限）尺寸的累積分布的顆粒群來進行分類。 ISO 14644 的這一部分沒有規定對超出指定粒徑范圍（0.1 μm 至 5 μm）的顆粒群進行分類。 超細顆粒（小于 0.1 μm 的顆粒）和大顆粒（大于 5 μm 的顆粒）的濃度可分別用于根據 U 描述符和 M 描述符來量化這些群體。 ISO 14644 的這一部分不能用于表征空氣中顆粒的物理、化學、放射性或活性性質。 注：顆粒濃度在增量尺寸范圍內的實際分布通常是不可預測的，并且通常會隨時間變化。

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