ISO 14644-1:1999
潔凈室和相關控制環境 第1部分:空氣潔凈度分級
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 1: Classification of air cleanliness
- 標準號
- ISO 14644-1:1999
- 發布
- 1999年
- 中文版
- GB/T 25915.1-2010 (等同采用的中文版本)
- 發布單位
- 國際標準化組織
- 替代標準
- ISO 14644-1:2015
- 當前最新
- ISO 14644-1:2015
- ISO 14644 的這一部分涵蓋了潔凈室和相關受控環境中空氣潔凈度的分類，僅根據空氣中顆粒的濃度進行分類。 僅考慮具有基于 0.1 μm 至 5 μm 范圍內的閾值（下限）尺寸的累積分布的顆粒群來進行分類。 ISO 14644 的這一部分沒有規定對超出指定粒徑范圍（0.1 μm 至 5 μm）的顆粒群進行分類。 超細顆粒（小于 0.1 μm 的顆粒）和大...
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