Si(Li)探測器類的 X 射線能譜儀已廣泛地應用于電子探針和掃描電鏡的分析領域,據不完全統計, 我國大約有500多臺 X 射線能譜儀與電子探針或掃描電鏡(包括透視電子顯微鏡)聯用,已成為最為主要的微區元素分析的工具,發揮了重要的作用。但也存在著分析結果上的明顯缺陷,嚴重地影響定量分析的質量,并導致許多不應有的研究成果謬誤的?...
通常來說,電子探針-能譜定量分析可能比較容易,而對于掃描電鏡能譜定量分析,則難度較大,但也是完全可以實現的。 GB/T 20726-2006 ISO 15632:2002微束分析-半導體探測器X射線能譜儀通則,該標準規定了表征以半導體探測器、前置放大器和信號處理系統為基本構成的X射線能譜儀(EDS)特性最重要的量值。...
用細聚焦電子束入射樣品表面,激發出樣品元素的特征x射線。 分析特征x射線的波長(或特征能量)即可知道樣品中所含元素的種類(定性分析)。 分析x射線的強度,則可知道樣品中對應元素含量的多少(定量分析)。 電子探針儀鏡筒部分的構造大體上和掃描電子顯微鏡相同,只是在檢測器部分使用的是x射線譜儀,專門用來檢測x射線的特征波長或特征能量,以此來對微區的化學成分進行分析。 ...
能譜儀(即X射線能量色散譜儀,簡稱EDS)通常是指X射線能譜儀。能譜儀首先是在掃描電鏡和電子探針分析儀器上得到應用,其優點是可以分析微小區域(幾個微米)的成分,并且可以不用標樣。...
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