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JIS K 0132:1997
掃描電子顯微鏡總則

General rules for scanning electron microscopy

標準號: JIS K 0132:1997
發布: 1997年
發布單位: 日本工業標準調查會
當前最新: JIS K 0132:1997

適用范圍: この規格は，走査電子顕微鏡を用いて，主として二次電子による試料表面の微小部の形態観察と分析を行う場合の一般的事項について規定する。

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JIS K 0132:1997 中可能用到的儀器設備

生物顯微鏡激光共聚焦顯微鏡 FIB-SEM雙束聚焦掃描電鏡掃描電鏡SEM 超分辨率顯微鏡透射電鏡TEM 數碼顯微鏡掃描探針/原子力顯微鏡SPM/AFM 原位樣品桿/臺電化學工作站電鏡附件及外設熒光顯微鏡電鏡制樣設備切割機

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