GB/T 16943-1997
電子工業用氣體 氦
Gases for electronic industry--Helium
GBT16943-1997, GB16943-1997
2010-05
- 標準號
- GB/T 16943-1997
- 別名
- GBT16943-1997, GB16943-1997
- 發布
- 1997年
- 總頁數
- 4頁
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 替代標準
- GB/T 16943-2009
- 當前最新
- GB/T 16943-2009
- 適用范圍
- 本標準規定了電子工業用氦氣的技術要求、檢驗方法以及包裝、標志等，適用于以深冷法從天然氣、空氣或工廠弛放氣提取的高純度氦，在半導體及其器件生產中用作清洗氣、加壓氣，也用作載氣和保護氣等。 分子式：He 相對分子質量：4.003（按1991年國際相對原子質量）
專題
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