XPS：X射線光電子能譜分析(XPS, X-ray photoelectron spectroscopy)測試的是物體表面10納米左右的物質的價態和元素含量，而EDS不能測價態，且測試的深度為幾十納米到幾微米，基本上只能定性分析，不好做定量分析表面的元素含量。?原理：用X射線去輻射樣品，使原子或分子的內層電子或價電子受激發射出來。被光子激發出來的電子稱為光電子。...
（3）結構簡單，穩定性和重現性都很好 ??（4）不必聚焦，對樣品表面無特殊要求，適于粗糙表面分析。?X射線光電子能譜分析(XPS,X-ray?photoelectron?spectroscopy)測試的是物體表面10納米左右的物質的價態和元素含量，而EDS不能測價態，且測試的深度為幾十納米到幾微米，基本上只能定性分析，不好做定量分析表面的元素含量。?...
XPS作為一種高效的表面分析手段，不僅廣泛應用于化學分析、材料應用開發、物理理論研究等學術領域，對于機械加工、印刷電路、鍍膜材料工藝控制和納米功能材料開發等工業領域，也能提供全方位的解決方案。隨著表面分析技術拓展性的逐漸增強，各類型材料對于XPS表征分析的需求都日益增長。今年賽默飛世爾科技（中國）有限公司發布了全新一代Thermo Scientific? Nexsa? G2? X射線光電子能譜儀。...
1954年便開始了研究，起初稱為化學分析用電子能譜（簡稱ESCA），后普遍稱為X射線光電子能譜（簡稱XPS）。主要包括：真空系統、X射線源、能量分析器和檢測記錄系統、試驗室和樣品臺等。這種分析方法已廣泛用于鑒定材料表面吸附元素種類，腐蝕初期和腐蝕進行狀態時的腐蝕產物、表面沉積等；研究摩擦副之間的物質轉移、粘著、磨損和潤滑特性；探討復合材料表面和界面特征；鑒定工程塑料制品等。...
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