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DIN 50438-1:1995
半導體工藝材料檢驗.用紅外吸收法測量硅的雜質含量.第1部分:氧

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurity content in silicon by infrared absorption - Part 1: Oxygen

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標準號: DIN 50438-1:1995
發布: 1995年
總頁數: 13頁
發布單位: 德國標準化學會
當前最新: DIN 50438-1:1995

適用范圍: 本文件規定了兩種紅外吸收法無損測定硅中氧含量的方法。

專題

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