SS-EN ISO 14644-13:2017
潔凈室及相關受控環境第13部分：以顆粒和化學分類達到規定清潔度水平的表面清潔（ISO 14644-13:2017）

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications (ISO 14644-13:2017)

適用范圍: ISO 14644-13:2017 給出了將潔凈室表面、潔凈室內設備表面和潔凈室內材料表面清潔到指定程度的指南。考慮的是所有感興趣的表面（外部或內部）。它為評估達到所需的表面清潔度（按顆粒濃度（SCP）和表面清潔度（按化學濃度（SCC）等級））以及應考慮哪些技術來達到這些指定的水平提供了指導。清潔技術的適當性將參考 ISO 14644-9 和 ISO 14644-10 中的清潔度等級和相關測試方法。將提供以下一般指導事項： - 預期的表面清潔度水平； - 清潔方法的適用性； - 表面與清潔技術的兼容性； - 清潔適當性的評估。以下內容將不包括在本文件之外： - 清潔方法的分類； - 在潔凈室內生產的產品； - 特定的表面相關清潔方法； - 詳細描述各種清潔方法的清潔機制、方法和程序； - 詳細的材料特性； - 描述清潔過程的損傷機制和與時間相關的效應； - 提及污染物和表面之間的相互作用鍵力，或通常與時間和過程相關的生成過程； - 粒子的其他特性，如靜電荷、離子電荷等； - 分子污染物和表面之間的化學反應； - 表面清潔度的微生物方面； - 污染的放射性方面； - 健康和安全考慮； - 環境方面，如廢物處理、排放等； - 統計方法的選擇和使用。