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KS I ISO 14644-12-2020
潔凈室和相關的受控環境.第12部分:用納米級顆粒濃度監測空氣清潔度的規范

Cleanrooms and associated controlled environments —Part 12: Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration

標準號: KS I ISO 14644-12-2020
發布: 2020年
發布單位: KR-KS
當前最新: KS I ISO 14644-12-2020

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