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集成電路的制造可以分成兩個主要的部分。首先,在晶圓內及其表面制造出有源器件和無源器件,這稱為前端工藝線或者FEOL。在后端工藝線(BEOL)中,需要在芯片上用金屬系統來連接各個器件和不同的層。在這部分中,金屬化工藝所要用到的材料、規范和工藝,將隨著金屬在芯片制造中的應用而逐步闡明。用在CVD、蒸發、離子注入和濺射系統的真空泵將在這一章的結束時進行介紹。...
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