常規的能量色散X 射線熒光光譜儀采用濾光片降低X射線管散射線背景，單波長X射線熒光光譜儀采用雙曲面彎晶、偏振二次靶、多層膜等技術消除X射線管散射線背景。代表廠商有北京安科慧生和美國XOS公司。...
能譜色散型X熒光光譜儀（ED-XRF），用X射線管產生原級X射線照射到樣品上，所產生的特征X射線（熒光）直接進入半導體探測器，便可以據此進行定性分析和定量分析。 由于普通能量色散X熒光采用低功率X射線管，又采用濾光片扣除背景和干擾，其背景偏高，分辨率偏小，使得應用范圍受到限制，特別是在輕元素的分析受到限制。...
波長色散X射線熒光光譜儀的優點闡述波長色散X射線熒光光譜儀，采用了新技術設計的固態發生器、新技術設計的高電流低溫X射線光管、當前電子技術新設計的電路板、新開發的高強度晶體等，使X射線熒光光譜儀對元素的分析產生了突破，在靈敏度、準確度、精密度、安全性、操作簡便性、可靠性、分析速度、功能完備的分析軟件等方面，把XRF分析技術又一次推向新的階段。...
NANOHUNTER II臺式全反射X射線熒光（TXRF）光譜儀 全反射X射線熒光分析是利用原級X射線束能在樣品表面產生全反射激發進行X射線熒光分析的裝置和方法。由于其取樣量小、檢出限低的優勢，克服了常規XRF取樣量大、靈敏度低這些最明顯的缺陷，因而常用來解決地學、材料、微電子、環境、生物醫學、刑偵和考古等學科中超微量樣品的超痕最元素分析的難題。 ...
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