ASTM F1152-02
ASTM F1152-02
- 標準號
- ASTM F1152-02
- 發布
- 1970年
- 發布單位
- /
- 當前最新
- ASTM F1152-02
- 適用范圍
- 1.1 本測試方法采用非破壞性程序來確定硅晶圓上基準凹口的尺寸是否在規定的限度內。
1.2 以 SI 單位表示的數值應被視為標準。括號中給出的值僅供參考。
1.3 本標準并不旨在解決與其使用相關的所有安全問題（如果有）。本標準的使用者有責任在使用前建立適當的安全和健康實踐并確定監管限制的適用性。