GSO ISO/TR 19319:2013
表面化學分析 基于光束的方法中確定橫向分辨率和清晰度的基本方法

Surface chemical analysis -- Fundamental approaches to determination of lateral resolution and sharpness in beam-based methods

標準號

GSO ISO/TR 19319:2013

發布

2013年

發布單位

GSO

當前最新

GSO ISO/TR 19319:2013

 

 

適用范圍

本技術報告描述： a) 函數及其與橫向分辨率的相關性： 1) 點擴散函數 (PSF) — 參見 4.1.1 2) 線擴散函數 (LSF) — 參見 4.1.2 3) 邊緣擴散函數 (ESF) —參見 4.1.3 4) 調制傳遞函數 (MTF) — 參見 4.1.4 5) 對比度傳遞函數 (CTF) — 參見 4.1.5。 b) 確定橫向分辨率和與橫向分辨率相關的參數的實驗方法： 1) 窄條紋成像——見4.2 2) 銳邊成像——見4.3 3) 方波光柵成像——見4.4。 c) 影響俄歇電子能譜和 X 射線光電子能譜中橫向分辨率、分析區域和分析儀觀察到的樣品區域的物理因素——見第 5 條和第 6 條。

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