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    • T/CEMIA 023-2021
    半導體單晶硅生長用石英坩堝

    Quartz crucible forsemiconductor monosilicon growth


    標準號
    T/CEMIA 023-2021
    發布
    2021年
    發布單位
    中國團體標準
    當前最新
    T/CEMIA 023-2021
     
     
    適用范圍
    本文件界定了半導體單晶硅生長用石英坩堝的術語和定義， 并規定了尺寸偏差、技術要求、試驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸、儲存。  本文件適用于以高純石英砂（成份：二氧化硅）為原料，采用電弧熔融法生產，用于半導體單晶硅生長用石英坩堝。

    其他標準

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    專題

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