ASTM F1724-01
酸提取 原子吸收光譜法測定多晶硅表面金屬污染程度
Determination of Metal Contamination on Polysilicon Surface by Acid Extraction Atomic Absorption Spectrometry
- 標準號
- ASTM F1724-01 中文首頁
- 發布
- 2001年
- 總頁數
- 6頁
- 發布單位
- 美國材料與試驗協會
- 當前最新
- ASTM F1724-01
- 引用標準
- ASTM D5127 ASTM E122
- 適用范圍
- 1.1 本測試方法涵蓋使用酸從表面提取金屬來定量測定多晶硅表面的表面痕量金屬污染。然后通過石墨爐原子吸收光譜分析酸的金屬含量。
1.2 本測試方法可用于多晶硅或單晶硅的各種棒狀、塊狀、顆粒狀和片狀尺寸，以確定表面金屬污染物。由于不規則形狀的塊、碎片或顆粒的面積難以精確測量，因此值基于樣品重量。使用 300 g 的樣品重量可實現 0.1 ppbw（十億分之一重量）水平的檢測限。
1.3 酸的強度、成分、溫度和暴露時間決定了表面蝕刻的深度和從表面提取污染物的效率。在此測試方法中，去除的樣品重量不到 1%。
1.4 本試驗方法適用于測定堿金屬、堿土金屬和第一系列過渡元素，如鈉、鉀、鈣、鐵、鉻、鎳、銅、鋅，以及其他元素如鋁。使用有意添加到多晶硅表面的控制標準，測得這些元素從硅表面的回收率大于 90%。
1.5 該測試方法建議特定的樣品尺寸、酸成分、蝕刻周期、測試環境和儀器協議。可以使用這些參數的變化，但可能會影響加工過程中金屬的回收效率或保留。實際上，該測試方法適用于 25 至 5000 g 的樣品重量。出于裁判目的，本測試方法規定樣品重量為 300 克。該測試方法包括提醒分析人員注意該測試方法中的干擾和由此產生的變化的指南，并包括量化和報告這些變化的標準方法。
1.6 本試驗方法規定采用石墨爐原子吸收光譜法分析酸浸液中的痕量金屬含量。可以使用具有同等靈敏度的其他儀器，例如電感耦合等離子體/質譜儀。
1.7 檢測限和方法變化取決于酸提取程序的效率、樣品量、方法干擾、各元素的吸收光譜以及儀器靈敏度、背景和空白值。
1.8 該測試方法使用熱酸蝕刻掉硅的表面。蝕刻劑具有潛在危害，必須在酸性排氣煙罩中處理，并始終極其小心。氫氟酸溶液特別危險，任何不熟悉相應材料安全數據表中給出的具體預防措施和急救處理的人不應使用。
1.9 本標準并不旨在解決與其使用相關的所有安全問題（如果有）。本標準的使用者有責任在使用前建立適當的安全和健康實踐并確定監管限制的適用性。第 9 節給出了具體的預防措施說明。