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BS ISO 14606:2022
表面化學分析濺射深度剖析使用分層系統作為參考材料進行優化

Surface chemical analysis. Sputter depth profiling. Optimization using layered systems as reference materials

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標準號: BS ISO 14606:2022
發布: 2023年
總頁數: 26頁
發布單位: 英國標準學會
當前最新: BS ISO 14606:2022

引用標準: ISO 18115-1

適用范圍: 范圍本文件提供了使用適當的單層和多層參考材料優化濺射深度分析參數的指導和要求，以實現俄歇電子能譜、X射線光電子能譜中儀器設置的最佳深度分辨率和二次離子質譜。本文件無意涵蓋特殊多層系統（例如δ摻雜層）的使用。

術語	描述
image depth profile image depth profile	特定元素或分子物種在三維空間中的分布表示，作為深度或被去除材料的函數
plateau region plateau region	信號保持恒定或無顯著變化的區域
sputter depth profile sputter depth profile	通過濺射去除材料后獲得的深度剖面

BS ISO 14606:2022 中提到的儀器設備

Auger電子能譜儀	用于分析表面元素分布和深度剖析的儀器
X射線光電子能譜儀	用于測量材料表面元素和化學狀態的儀器
二次離子質譜儀	用于分析表面和深度分布的高靈敏度儀器

專題

為什么進行系統分析

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