ISO 13084:2018
表面化學分析 - 二次離子質譜法 - 用于飛行時間二次離子質譜儀的質譜的校準
Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer
- 標準號
- ISO 13084:2018
- 發布
- 2018年
- 中文版
- GB/T 40129-2021 (等同采用的中文版本)
- 發布單位
- 國際標準化組織
- 當前最新
- ISO 13084:2018
- 適用范圍
- 本文件規定了一種優化用于一般分析目的的飛行時間二次離子質譜 (SIMS) 儀器質量校準精度的方法。 它僅適用于飛行時間儀器，但不限于任何特定的儀器設計。 為可以使用此程序優化的一些儀器參數以及適合校準質量標度以獲得最佳質量精度的通用峰類型提供了指導。
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