GSO ISO 11039:2014
表面化學分析掃描探針顯微鏡漂移率測量

Surface chemical analysis -- Scanning-probe microscopy -- Measurement of drift rate

標準號: GSO ISO 11039:2014
發布: 2014年
發布單位: GSO
當前最新: GSO ISO 11039:2014

適用范圍: ISO 11039:2012 定義了用于表征掃描探針顯微鏡 (SPM) 儀器在 X 和 Y 方向上的漂移率的術語并指定了測量方法，以及對于測量形貌的 SPM 儀器在 Z 方向上的漂移率。盡管長期漂移率的行為可能是非線性的，但長期漂移率的行為以及用戶定義的穩定時間之后的短期漂移率的行為都可以通過典型平均漂移率或典型最大漂移率來表征。本國際標準適用于基于SPM圖像評估漂移率。它旨在幫助制造商以有意義且一致的方式引用規格中的漂移數據，并幫助用戶表征漂移行為，以便設計有效的實驗。這些測量并不是為圖像校正而設計的。

專題

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GSO ISO 11039:2014相似標準

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