BS ISO 15471:2004
表面化學分析俄歇電子能譜所選儀器性能參數的描述

Surface chemical analysis. Auger electron spectroscopy. Description of selected instrumental performance parameters

被代替

2016-09

標準號: BS ISO 15471:2004
發布: 2005年
發布單位: SCC
替代標準: BS ISO 15471:2016; BS ISO 15471:2005
當前最新: BS ISO 15471:2016

適用范圍: Cross References: ISO 18115

俄歇峰定量分析二次電子與俄歇電子俄歇電子與二次電子二次電子俄歇電子二次電子俄歇電子俄歇電子二次電子俄歇電子二次電子俄歇定量分析俄歇定量分析俄歇半定量分析俄歇電子能譜要求高能電子束俄歇電子

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俄歇電子能譜（1）

各種表面分析方法的建立又為這些領域的研究創造了很有利的條件。在表面組分分析方法中，除化學分析用電子能譜以外，俄歇電子能譜是最重要的一種。目前它已廣泛地應用于化學、物理、半導體、電子、冶金等有關研究領域中。...

　　最近十年中，固體表面分析方法獲得了迅速的發展，它是目前分析化學領域中最活躍的分支之一。它的發展與催化研究、材料科學和微型電子器件研制等有關領域內迫切需要了解各種固體表面現象密切相關。各種表面分析方法的建立又為這些領域的研究創造了很有利的條件。　　在表面組分分析方法中，除化學分析用電子能譜以外，俄歇電子能譜是最重要的一種。目前它已廣泛地應用于化學、物理、半導體、電子、冶金等有關研究領域中。　　...

表面分析（四）

表面分析方法表面分析方法有數十種，常用的有離子探針、俄歇電子能譜分析和X射線光電子能譜分析，其次還有離子中和譜、離子散射譜、低能電子衍射、電子能量損失譜、紫外線電子能譜等技術，以及場離子顯微鏡分析等。離子探針分析離子探針分析，又稱離子探針顯微分析。...

表面分析技術的特征比較

表面分析方法有數十種，常用的有離子探針、俄歇電子能譜分析和X射線光電子能譜分析,其次還有離子中和譜、離子散射譜、低能電子衍射、電子能量損失譜、紫外線電子能譜等技術，以及場離子顯微鏡分析等。離子探針分析離子探針分析，又稱離子探針顯微分析。...

BS ISO 15471:2004
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