以電子探針顯微分析(ESMA)為例：用高能電子束照射樣品表面，離表面約幾微米處的原子將被激發產生特征X 射線，這種X 射線的分析既可以用能量色散光譜儀(EDS，簡稱能譜儀)，也可用波長色散光譜儀(WDS，簡稱波譜儀)。...
通常來說，電子探針-能譜定量分析可能比較容易，而對于掃描電鏡能譜定量分析，則難度較大，但也是完全可以實現的。 GB/T 20726-2006 ISO 15632:2002微束分析-半導體探測器X射線能譜儀通則，該標準規定了表征以半導體探測器、前置放大器和信號處理系統為基本構成的X射線能譜儀（EDS）特性最重要的量值。...
X射線熒光光譜儀(XRF) XRF指的是X射線熒光光譜儀，可以快速同時對多元素進行測定的儀器。在X射線激發下，被測元素原子的內層電子發生能級躍遷而發出次級X射線（X-熒光）。從不同的角度來觀察描述X射線，可將XRF分為能量散射型X射線熒光光譜儀，縮寫為EDXRF或EDX和波長散射型X射線熒光光譜儀，可縮寫為WDXRF或WDX，但市面上用的較多的為EDX。 ...
2.儀器類型(1)波長色散光譜儀通過分光晶體對不同波長的X射線熒光進行衍射而達到分光的目的，然后用探測器探測不同波長處的X射線熒光強度。儀器由X射線發生器、晶體分光器、準直器、檢測器、多道脈沖分析器、計算機等組成。(2)能量色散X射線熒光光譜儀(EDXRF)利用熒光X射線具有不同能量的特點，將其分開并檢測，依靠半導體探測器來完成。儀器由X射線發生器、檢測器、放大器、多道脈沖分析器、計算機組成。...
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