GB/T 29732-2021
表面化學分析 中等分辨俄歇電子能譜儀 元素分析用能量標校準
Surface chemical analysis—Medium resolution auger electron spectrometers—Calibration of energy scales for elemental analysis
GBT29732-2021, GB29732-2021
- 標準號
- GB/T 29732-2021
- 別名
- GBT29732-2021, GB29732-2021
- 發布
- 2021年
- 總頁數
- 16頁
- 采用標準
- ISO 17973:2016 IDT
- 發布單位
- 國家市場監督管理總局、中國國家標準化管理委員會
- 當前最新
- GB/T 29732-2021
- 引用標準
- ISO 18115
- 被代替標準
- GB/T 29732-2013
- 適用范圍
- 本文件規定了俄歇電子能譜儀動能能量標不確定度為3eV時的校準方法,用于識別表面常規元素。另外,本文件還規定了一種用于確定校準周期的方法。 本文件適用于直接模式或微分模式的儀器分辨率小于或等于0.5%,微分模式調制幅度的峰值為2eV,配有惰性氣體離子槍或其他樣品清潔方法,具有4keV或更高束能電子槍的譜儀。