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通過對單晶硅片的化學腐蝕,用顯微鏡觀察各種典型的缺陷,發現不同晶向上的腐蝕坑的形狀有很大的不同:面腐蝕坑呈三角行,面腐蝕坑呈四邊行,面腐蝕坑呈四面體行等;同時發現不同的腐蝕時間對同一晶向上的腐蝕坑也有影響,如面在不同的腐蝕時間腐蝕坑可以是三角形也可以是圓形;顯微鏡照片還可以發現單晶硅片中心的缺陷密度小,邊緣的缺陷密度大。(本文選自“歐波同”征文大賽文章,未經允許,不得轉載!)...
摘要:?單晶硅材料可以用于制造太陽能電池、半導體器件等,由于其應用領域的特殊性要求其純度達到99.9999% 甚至更高。在單晶硅生產過程中由原料及方法等因素難以避免的引入了碳、氧等雜質,直接影響了單晶硅的性能。因而需對單晶硅材料中的氧碳含量進行控制。...
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