ASTM E2090-12
利用光電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡對清潔室擦刷工具釋放粒子和纖維的尺寸差異計數的標準試驗方法

Standard Test Method for Size-Differentiated Counting of Particles and Fibers Released from Cleanroom Wipers Using Optical and Scanning Electron Microscopy

被代替

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標準號

ASTM E2090-12

發布

2012年

總頁數

11頁

發布單位

美國材料與試驗協會

替代標準

ASTM E2090-12(2020)

當前最新

ASTM E2090-12(2020)

 

 

引用標準

ASTM D1193 ASTM F25 ASTM F312 ISO 14644-1 ISO 14644-2

適用范圍

該測試方法可以對浸入清潔溶液中并施加適度機械應力的擦拭器釋放的顆粒和纖維進行準確且可重復的計數。如果執行正確，這種計數測試方法足夠靈敏，可以量化非常低水平的總顆粒和纖維負荷。結果準確且不受偽影或粒徑限制的影響。該技術的另一個優點是它可以對單個顆粒進行形態學和 X 射線分析。
1.1 該測試方法涵蓋測試潔凈室和其他受控環境中使用的所有擦拭器的與顆粒清潔度相關的特性。
1.2 該測試方法包括使用基于計算機的圖像分析和計數硬件和軟件來對密集顆粒過濾器進行計數（見 7.7-7.9）。雖然并非絕對必要使用該設備，但強烈建議提高計數的準確性、速度和一致性。
1.3 以 SI 單位表示的數值應被視為標準。
1.4 本標準并不旨在解決與其使用相關的所有安全問題（如果有）。本標準的使用者有責任在使用前建立適當的安全和健康實踐并確定監管限制的適用性。

專題

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