ISO 18118:2024
表面化學分析俄歇電子能譜和X射線光電子能譜均勻材料定量分析用實驗確定的相對靈敏度因子的使用指南

Surface chemical analysis — Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy — Guide to the use of experimentally determined relative sensitivity factors for the quantitative analysis

適用范圍: 本文件為通過俄歇電子能譜和 X 射線光電子能譜定量分析均質材料時，測量和使用實驗確定的相對靈敏度因子提供指導。所述方法僅適用于多晶和非晶材料，因為未涉及單晶樣品固有的影響。

術語	描述
絕對元素靈敏度系數 Absolute Elemental Sensitivity Factor	將測量到的該元素的強度除以得到該元素在樣品中的原子濃度或比例的系數。
元素相對靈敏度系數 Elemental Relative Sensitivity Factor	與絕對元素靈敏度系數成正比，選擇比例常數使得選定的元素和躍遷的值為1。
平均矩陣相對靈敏度因子 Average Matrix Relative Sensitivity Factor	按比例計算的一種系數，在均勻基體中測量時使用的靈敏度因子。
純元素相對靈敏度因子 Pure-Element Relative Sensitivity Factor	基于純元素樣品測得的靈敏度因子，用于計算實際樣品中的元素濃度或比例。

Auger電子光譜儀	用于檢測材料表面釋放的Auger電子以分析元素組成和化學態。
X射線光電子能譜儀	通過測量光電子能量分布來研究材料表面化學組成的設備。