PD IEC TS 62607-6-10:2021
納米制造關鍵控制特性石墨烯基材料方塊電阻：太赫茲時域光譜

Nanomanufacturing. Key control characteristics. Graphene-based material. Sheet resistance: Terahertz time-domain spectroscopy

適用范圍: IEC TS 62607 的這一部分建立了一種標準化方法，通過太赫茲時域光譜 (THz-TDS) 確定石墨烯基材料薄膜的電氣關鍵控制特性——薄層電阻 (Rs)。在該技術中，將 THz 脈沖發送到石墨烯基材料。在時域中測量透射或反射的 THz 波形，并通過快速傅里葉變換 (FFT) 將其轉換到頻域。最后，將光譜擬合到 Drude 模型（或其他類似模型）以獲得薄層電阻。這種非接觸式檢測方法無損、快速且穩健，適用于大面積石墨烯薄膜的映射，并且沒有樣本尺寸上限。該方法適用于統計過程控制、不同供應商生產的石墨烯薄膜的比較，或獲取微觀尺度的缺陷信息，例如晶粒邊界和缺陷等。該方法適用于通過化學氣相沉積 (CVD) 或其他方法在介電基底上生長或轉移到介電基底上的石墨烯，這些基底包括但不限于石英、二氧化硅 (SiO2)、硅 (Si)、藍寶石、碳化硅 (SiC) 和聚合物。最小空間分辨率約為 300 μm（1 THz 時），由 THz 脈沖的衍射極限光斑尺寸決定。

術語	描述
石墨烯 Graphene	由單層碳原子組成的二維材料，每個原子以蜂窩狀結構與三個鄰居結合。
石墨烯基材料 Graphene-Based Material	包括單層、雙層和多層石墨烯及其氧化形式的碳基二維材料集合。
薄層 Thin Film	通過真空蒸發、濺射等方法沉積在基底上的導電、電阻或介電材料，通常厚度小于50,000 ?。
二維材料 Two-Dimensional Material	原子層間強烈結合的材料，在納米尺度或更小的厚度上延伸，并在其他兩個維度上有較大尺寸。
面電阻 Sheet Resistance	衡量薄層導電均勻性材料電阻的指標，單位為歐姆/平方（Ω/sq）。