ISO14644-14 根據懸浮顆粒物濃度評估設備使用的適用性 2016 指定設備在潔凈室和相關受控環境中適用性的評估方法 ISO14644-15 通過懸浮化學物濃度評估設備和材料的適用性 2017 將用于潔凈室及其相關受控環境中的設備和材料引起的化學物潔凈度提出要求和指南 ISO14644-16 提高潔凈室和凈化設備能效的實施指南 ...
光探測器在曝光后產生電信號，與之成比例然后將氣溶膠的質量濃度乘以通過測量氣溶膠的特定濃度獲得的電壓校準系數。? 粒子計數器的原理：顆粒計數器通過采樣泵提取。在激光室中，采樣氣體由激光照射，由顆粒反射的閃光頻率代表顆粒數，反射光強度代表顆粒的粒徑。由于激光室中的元件沒有鞘氣保護，激光粒子計數器應在干凈的環境中使用，以防止損壞激光傳感器。...
在某些電子車間，例如半導體車間，如果要生產出合格的產品，除了要選擇材料等其他用于生產合格產品的基本條件外，還必須確保車間中的顆粒物含量不超過標準范圍，這就是我們通常將其稱為潔凈室等級標準。潔凈室等級標準通常是根據懸浮顆粒物濃度的唯一指標劃分其等級標準。而粉塵傳感器是一種用于測量潔凈室中單位體積內塵埃粒子的數量和粒徑分布的儀器。...
粒子計數器原理：粒子計數器通過采樣泵抽取采樣氣體，在激光室中，通過激光照射采樣氣體，顆粒反射出來的閃光的頻率，代表顆粒的數量，反射的光強，代表顆粒的粒徑大小，激光室中的元器件，沒有鞘氣保護。...
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