UNE-EN 62047-16:2015
半導體器件 微機電器件 第16部分：測定 MEMS 薄膜殘余應力的測試方法 晶圓曲率和懸臂梁偏轉方法
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films – Wafer curvature and cantilever beam deflection methods (Endorsed by AENOR in August of 2015.)
- 標準號
- UNE-EN 62047-16:2015
- 發布
- 2015年
- 發布單位
- 西班牙標準化協會
- 當前最新
- UNE-EN 62047-16:2015