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ISO/DIS 5861:2023
表面化學分析 X射線光電子能譜石英晶體單色 Al Kα XPS 儀器強度校準方法

Surface chemical analysis — X-ray photoelectron spectroscopy — Method of intensity calibration for quartz-crystal monochromated Al Kα XPS instruments

標準號: ISO/DIS 5861:2023
發布: 2023年
發布單位: 國際標準化組織
當前最新: ISO/DIS 5861:2023

介紹: 該標準提供了關于X射線光電子能譜（XPS）中石英晶體單色器的詳細指導，旨在使用Al Kα XPS儀器進行強度校準。它涵蓋了從設備準備到實際操作的所有步驟，并提供了一系列具體的操作規范以確保測量結果的一致性和準確性。

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