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SJ 2794-1987
電子級氫

Electronic grade Hydrogen

作廢

2010-02

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標準號: SJ 2794-1987
發布: 1987年
發布單位: 行業標準-電子
當前最新: SJ 2794-1987

適用范圍: 本標準適用予半導體材料、分立器件和集成電路生產工藝過程中使用的電子級氧。按其使用要求電子級氫分為三級。代號為：電子Ⅲ級氫代號為；DZH|(2)-Ⅲ；電子Ⅱ級氫代號為；DZH|(2)-Ⅱ；電子I級氫代號為；DZH|(2)-I。

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