GB/T 34177-2017
光刻用石英玻璃晶圓
Quartz glass wafer for lithography
GBT34177-2017, GB34177-2017
- 標準號
- GB/T 34177-2017
- 別名
- GBT34177-2017, GB34177-2017
- 發布
- 2017年
- 總頁數
- 11頁
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 34177-2017
- 引用標準
- GB/T 32189 GB/T 3284-2015 GB/T 5949 JC/T 185 JC/T 2205 JC/T 655
- 適用范圍
- 本標準規定了光刻用石英玻璃晶圓的術語和定義、分類、要求、試驗方法、檢驗規則及標志、包裝、運輸和貯存。適用于半導體集成電路、光通訊、微機電系統(MEMS)、光電器件和發光二極管(LED)等光刻工藝中用做襯底的石英玻璃晶圓。
| 術語 | 描述 |
|---|---|
| 總厚度變化 (TTV) Total Thickness Variation | 石英玻璃晶圓厚度的最大值和最小值間的差。 |
| 平 整 度 Flatness | 石英玻璃晶圓一個表面為理想平面時，另一表面相對于基準面的偏差，以測量范圍內總的示值讀數(TIR)表示。 |
| 彎 曲度 Bow | 自由無夾持的石英玻璃晶圓中位面的中心點與中位面基準平面間的偏離。 |
| 翹曲度 Warp | 自由無夾持的石英玻璃晶圓中位面相對于參照平面的最大和最小距離之差。 |
GB/T 34177-2017 中提到的儀器設備
GB/T 34177-2017相似標準
推薦
上海微系統所等晶圓級高精度瞬態生物光刻研究獲進展
近日，中國科學院上海微系統所傳感技術國家重點實驗室陶虎課題組，聯合復旦大學附屬華山醫院神經外科、江蘇科技大學蠶業研究所等研究機構的科研人員，開發出對紫外光敏感且分子量均一的蠶絲蛋白輕鏈溶液，并基于該溶液，結合傳統紫外光刻工藝，實現了晶圓級高精度綠色瞬態生物光刻。相關成果以Precise...
復旦大學包文中教授課題組又發一篇Nature子刊，小型臺式無掩膜光刻機助力晶圓級二維半導體的集成電路工藝取得重要進展！
一分鐘了解前沿技術，幫助您更好的閱讀下文！期刊：Nature communication IF 14.92文章DOI：https://doi.org/10.1038/s41467-021-26230-x引言石墨烯的發現為人類打開了二維材料的大門，經歷十多年的研究，二維材料表現出的各種優良性能越來越...