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DB13/T 5118-2019
4H 碳化硅 N 型同質外延片通用技術要求

General technical requirements for 4H SiC N-type homoepitaxial wafers

標準號: DB13/T 5118-2019
發布: 2019年
發布單位: 河北省標準
當前最新: DB13/T 5118-2019

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