圖(6)上圖中,(a)是因曝光不足導致7條金屬線橋接子在一起的情形;(b)是外來顆粒的介入導致4條金屬線橋接在一起的情形;(c)是因掩模劃傷導致橋接的情形;(d)是1um大小的缺陷造成短路的情形;(e)是金屬化缺陷導致2條金屬線橋接的情形;(f)則是層間短路情形。上述情形中雖然導致缺陷的原因各有不同,但結果都是橋接。...
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